诺易研发生产的三相150kW交流高精度可编程测试电源10套交付深圳半导体光刻设备公司,用于设备的检测验证。该电源可灵活输出稳定可靠的各种制式电压环境,用于模拟世界各国电网,各种电能质量问题,不仅能够验证被测设备的电气性能,而且可以作为设备的长期稳定电源,为后端高精密设备提供电源保障。近三年来,该类型电源先后在武汉、成都、南京、上海、深圳等半导体公司安全稳定运行。
电压稳定度:0.2%
频率稳定度:0.001Hz
电压可调范围:AC0-220V-400V-1000V(可扩展35kV),可单相电压独立调整
频率可调范围:5-1000Hz
三相相位角调整范围:0-360°
谐波插入:可叠加2-31次谐波输出
骤升暂降:可快速模拟输出电压骤升暂降,频率跃变等电能质量事件,2ms完成输出